صمامات الحجاب الحاجز من سلسلة QVP

● عمر افتراضي طويل عند التشغيل السريع
● مشغل مقاوم لدرجات الحرارة العالية
● اختبار تسرب فردي لكل صمام باستخدام مطياف كتلة الهيليوم
● وصلات اختيارية للتركيب السطحي، ولحام الأنابيب، وتوصيلات طرفية لمسجل الفيديو

التصنيفات:

صمامات الحجاب الحاجز من سلسلة QVP

استفسار عن المنتج
  • وصف المنتج
  • المواصفات الفنية

    مقدمة

    صُمم هذا الصمام بهيكل محكم الغلق من نوع الحجاب الحاجز لضمان تسرب منخفض للغاية، وعمر افتراضي طويل، واستجابة سريعة. تتوفر تكوينات مشغل مقاومة لدرجات الحرارة العالية. صُمم هذا الصمام لأنظمة ترسيب الطبقات الذرية (ALD)، حيث يُطلق غازات فائقة النقاء وسامة/مسببة للتآكل في إنتاج رقائق الدوائر المتكاملة. يضمن المشغل عالي الحرارة أداءً موثوقًا به في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة.

  • المواصفات الفنية

    ضغط التشغيل:

    فراغ إلى 145 رطل/بوصة مربعة

    درجة حرارة التشغيل:

    -10 درجة مئوية -70 درجة مئوية، 0 درجة مئوية -200 درجة مئوية (نوع درجة الحرارة العالية)

    معامل التدفق (cv):

    0.27/0.62

    معدل التسرب الداخلي:

    ≤ 1x10-11 باسكال.م³/ثانية.هـ

    معدل التسرب الخارجي:

    ≤ 1x10-11 باسكال.م³/ثانية.هـ

    خشونة السطح الداخلي:

    را ≤ 0.13 ميكرومتر

     

استفسار عن المنتج

إذا كانت لديك أي أسئلة أو احتياجات، فيرجى ترك رسالة أو الاتصال بنا وسوف نقوم بالرد عليك في أقرب وقت ممكن.

إرسال