صمامات الحجاب الحاجز الهوائية من سلسلة DVP

● مثالي لتطبيقات الغازات فائقة النقاء
● مادة الغشاء: سبيكة Ni-Cr-Mo/UNS NO6022
● أداء سريع ومتكرر للمشغل الهوائي
● اختبار تسرب فردي لكل صمام باستخدام مطياف كتلة الهيليوم

التصنيفات:

صمامات الحجاب الحاجز الهوائية من سلسلة DVP

استفسار عن المنتج
  • وصف المنتج
  • المواصفات الفنية

    مقدمة

    يتميز بهيكل غشائي محكم الغلق، مع منفاخ معدني، وتصميم جسم صمام ملحوم بالكامل لتحقيق معدلات تسرب منخفضة للغاية، ومتكامل مع مشغلات هوائية عالية الدقة لأداء استجابة سريع. جسم الصمام مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L، بينما يستخدم المقعد ختمًا مطاطيًا مشبعًا بالفلور، مما يتيح التعامل الآمن مع الغازات فائقة النقاء والوسائط شديدة السمية/التآكل في تطبيقات أشباه الموصلات. مُصمم خصيصًا لتلبية متطلبات غازات العمليات الصارمة في تصنيع الدوائر المتكاملة فائقة الحجم (ULSlC).

     

     

  • المواصفات الفنية

    ضغط التشغيل:

    فراغ حتى 150 رطل/بوصة مربعة (ضغط منخفض)، فراغ حتى 3000 رطل/بوصة مربعة (ضغط مرتفع)

    ضغط الانفجار:

    3000 رطل/بوصة مربعة (ضغط منخفض)، 9000 رطل/بوصة مربعة (ضغط مرتفع)

    درجة حرارة التشغيل:

    من -10 درجة مئوية إلى 60 درجة مئوية (ضغط منخفض)، ومن -10 درجة مئوية إلى 40 درجة مئوية (ضغط مرتفع)

    معامل التدفق (cv):

    0.25 (1/4 بوصة)، 0.7 (1/2 بوصة عالية التردد)

    معدل التسرب الداخلي:

    ≤ 1x10-11 باسكال.م³/ثانية.هـ

    معدل التسرب الخارجي:

    ≤ 1x10-11 باسكال.م³/ثانية.هـ

    خشونة السطح الداخلي:

    ≤ 1x10-11 باسكال.م³/ثانية.هـ

     

استفسار عن المنتج

إذا كانت لديك أي أسئلة أو احتياجات، فيرجى ترك رسالة أو الاتصال بنا وسوف نقوم بالرد عليك في أقرب وقت ممكن.

إرسال